納米探針臺(tái)

【產(chǎn)品概述】PicoFemto系列掃描電子顯微鏡納米探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)了三維空間上的精確定位，具有小尺寸大行程、高定位精度、操作簡(jiǎn)單、能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，使用于在SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作及物性測(cè)量。

產(chǎn)品型號(hào)：NP-3
更新時(shí)間：2024-08-21
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廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品詳情

PicoFemto系列掃描電子顯微鏡納米探針臺(tái)基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)技術(shù)，運(yùn)動(dòng)無需潤(rùn)滑，兼容掃描電鏡真空環(huán)境，并可在多種溫度范圍內(nèi)工作；步進(jìn)和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺(tái)由XYZ三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)組合而成。一個(gè)SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺(tái)。平臺(tái)上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測(cè)量頭，實(shí)現(xiàn)微納操縱和測(cè)量的目的。

技術(shù)指標(biāo)（單個(gè)三軸探針臺(tái)）

運(yùn)動(dòng)指標(biāo)	尺寸參數(shù)
1. X軸移動(dòng)行程：±10mm；	1. 長(zhǎng)/寬/高: 48.6mm/33.2mm/43.6mm
2. Y軸移動(dòng)行程：±10mm；	2. 重量：225g
3. Z軸移動(dòng)行程：±10mm；
4. 運(yùn)動(dòng)速度：0-3mm/s；
5. 細(xì)調(diào)分辨率：0.5nm

    產(chǎn)品選型

    納米探針臺(tái)

    澤攸科技提供適配Thermofisher/FEI、JEOL、ZEISS、Tescan及ZEPTOOLS等多種掃描電子顯微鏡型號(hào)的納米探針臺(tái)，支持定制。

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