ZEM15臺(tái)式掃描電鏡的四大功能一一介紹

更新時(shí)間：2022-06-06

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　　ZEM15臺(tái)式掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)、探測(cè)器、電路控制系統(tǒng)、信號(hào)采集系統(tǒng)和操作軟件均為澤攸科技自主研制。特別研制的電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，使拍攝圖片具有更高的信噪比和對(duì)比度。配合*的信號(hào)采集帶寬，可以在視頻幀率下高質(zhì)量的流暢顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作，無(wú)需光闌對(duì)中等復(fù)雜步驟。主機(jī)集成高壓及控制系統(tǒng)，是目前市面上體積較小的臺(tái)式掃描電鏡，便于移動(dòng)，安裝無(wú)需特殊環(huán)境。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡

　　ZEM15臺(tái)式掃描電鏡的四大功能：

　　1、利用背散射電子衍射信號(hào)對(duì)樣品物質(zhì)進(jìn)行晶體結(jié)構(gòu)(原子在晶體中的排列方式)，晶體取向分布分析，基于晶體結(jié)構(gòu)的相鑒定。

　　2、在半導(dǎo)體器件(IC)研究中的特殊應(yīng)用：

　　1)利用電子束感生電流EBIC進(jìn)行成像，可以用來(lái)進(jìn)行集成電路中pn結(jié)的定位和損傷研究

　　2)利用樣品電流成像，結(jié)果可顯示電路中金屬層的開(kāi)、短路，因此電阻襯度像經(jīng)常用來(lái)檢查金屬布線(xiàn)層、多晶連線(xiàn)層、金屬到硅的測(cè)試圖形和薄膜電阻的導(dǎo)電形式。

　　3)利用二次電子電位反差像，反映了樣品表面的電位，從它上面可以看出樣品表面各處電位的高低及分布情況，特別是對(duì)于器件的隱開(kāi)路或隱短路部位的確定尤為方便。

　　3、顯示化學(xué)成分的空間變化，基于化學(xué)成分的相鑒定——-化學(xué)成分像分布，微區(qū)化學(xué)成分分析

　　1）用x射線(xiàn)能譜儀或波譜采集特征X射線(xiàn)信號(hào)，生成與樣品形貌相對(duì)應(yīng)的，元素面分布圖或者進(jìn)行定點(diǎn)化學(xué)成分定性定量分析，相鑒定。

　　2）利用背散射電子基于平均原子序數(shù)（一般和相對(duì)密度相關(guān)）反差，生成化學(xué)成分相的分布圖像；

　　3）利用陰極熒光，基于某些痕量元素受電子束激發(fā)的光強(qiáng)反差，生成的痕量元素分布圖像。

　　4）利用樣品電流，基于平均原子序數(shù)反差，生成的化學(xué)成分相的分布圖像，該圖像與背散射電子圖像亮暗相反。

　　5）利用俄歇電子，對(duì)樣品物質(zhì)表層進(jìn)行化學(xué)元素分布的定性定理分析。

　　4、掃描電子顯微鏡追求固體物質(zhì)高分辨的形貌，形態(tài)圖像-形貌分析（表面幾何形態(tài)，形狀，尺寸）。

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ZEM15臺(tái)式掃描電鏡的四大功能一一介紹